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簡要描述:日本電子電鏡JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列推出的新機型。從選定興趣視野到生成報告,用于分析的軟件整合于一體,加快了作業(yè)速度!是一款無縫操作,使用方便的掃描電子顯微鏡。
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詳細介紹
日本電子電鏡JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新機型。
從選定興趣視野到生成報告,用于分析的軟件整合于一體,加快了作業(yè)速度!是一款無縫操作,使用方便的掃描電子顯微鏡。
日本電子電鏡JSM-IT500功能特點:
3個關(guān)鍵點 使日常分析更迅速!更簡便!
關(guān)鍵點2 實時分析 (僅限于A/LA)
在圖像觀察過程中,進行EDS分析。
EDS譜圖顯示在觀察窗口中, 如果給感興趣的元素加上alert ,會更容易發(fā)現(xiàn)。
關(guān)鍵點3 數(shù)據(jù)集中管理軟件
數(shù)據(jù)的查看、再分析以及從SEM圖像到EDS分析的全部數(shù)據(jù)報告可以一鍵生成。用數(shù)據(jù)管理圖標或者從測試結(jié)束的數(shù)據(jù)列表中啟動數(shù)據(jù)管理窗口并選擇數(shù)據(jù),一鍵就能生成報告。
關(guān)鍵點1 Zeromag
從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松, 多視野連續(xù)分析的位置也很容易。
光學(xué)CCD圖像和SEM圖像的wan美結(jié)合和無縫操作使工作效率大大提高!
利用Zeromag能簡便自動地進行大區(qū)域SEM觀察和EDS分析
利用Zeromag設(shè)置蒙太奇
蒙太奇結(jié)果 4×4 (左:背散射電子成份像 右:Ca元素面分布圖)
樣品:混凝土 加速電壓:15kV 高真空模式 拍攝區(qū)域:約4mm×3mm
利用Zeromag很容易設(shè)定大面積的蒙太奇區(qū)域,有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細信息時非常有效。
關(guān)鍵點2 實時分析 SEM和EDS一體化集成
在SEM圖像觀察過程中,進行EDS分析
利用Live Analysis功能,可在觀察窗口中進行被觀察區(qū)域的EDS分析??梢院苋菀椎卣业阶约焊信d趣的元素,還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素。
①顯示存在于測試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。
②會顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動定性分析結(jié)果。
③一鍵點擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。
關(guān)鍵點3 數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab 無縫創(chuàng)建報告
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯(lián)動的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結(jié)果等數(shù)據(jù)并快速生成報告的數(shù)據(jù)管理器。查看以前獲得的數(shù)據(jù)、重新分析,生成報告等都非常簡便。
①顯示各個視野的名稱。
②能根據(jù)樣品名、創(chuàng)建日期和數(shù)據(jù)類型等搜索數(shù)據(jù)。
③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個視野的位置。
④會列表顯示被選區(qū)域的元素圖、譜圖等的數(shù)據(jù)和定量分析結(jié)果等。
技術(shù)參數(shù)
分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
低真空模式*1 | 4.0 nm (30 kV BED) |
圖像倍率 | ×5~×300,000 |
顯示倍率 | ×14~×839,724 |
電子槍 | 鎢燈絲 電子槍*自動合軸 |
加速電壓 | 0.3kV~30kV |
低真空壓力設(shè)定范圍※1 | 10~650Pa |
物鏡光闌 | 3檔 帶有XY微調(diào)功能 |
自動功能 | 燈絲調(diào)整、電子槍合軸調(diào)整,聚焦、像散、襯度/亮度調(diào)整 |
大樣品尺寸 | 200 mm直徑×75 mm高度 |
樣品臺 | 大型全對中式 |
圖像無縫拼接功能 | 標配 |
顯示測試位置座標 | 直徑203 mm |
標準菜譜 | 有(包括EDS條件 ※2) |
圖像模式 | 二次電子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、陰影像*1等 |
獲取圖像的像素數(shù) | 640x480 1,280x960 |
OS | Microsoft®Windows®10 64bit |
顯示器 | 23寸觸摸屏 |
EDS 功能*2 | 譜圖分析、定性分析/定量分析、線分析(水平線分析、任意方向線分析)元素面分布、電子束追蹤等 |
測長功能 | 有(兩點間距離、平行線間距離、角度、直徑等) |
數(shù)據(jù)管理功能 | SMILE VIEW™ Lab |
生成報告功能 | SMILE VIEW™ Lab |
語言切換 | 可以在UI 上(日語/ 英語) |
抽真空系統(tǒng) | *自動 TMP:1 臺、RP:1臺或2臺※1 |
備注:Windows10 為美國微軟公司在美國及其它國家的注冊商標或商標
主要選配件
背散射電子檢測器(BED) ※1
低真空二次電子檢測器(LSED)能譜儀(EDS)※2
波譜儀(WDS)
電子背散射衍射檢測器(EBSD)
加載互鎖真空室(預(yù)抽室)
樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)(SNS)
樣品室觀察系統(tǒng)(CS)
操作面板
3D測量軟件操作臺
※1 為JSM-IT500LV/LA的標配功能。
※2 為JSM-IT500LV/LA的標配功能。
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